LN Mini Unit 由LN單元MRE、MLE和B2MS組成。LNscope和附件組成了該系統(tǒng)。單獨(dú)的LN Mini Unit 安裝在不銹鋼柱子的頂部,帶有旋轉(zhuǎn)適配器,便于接觸到電極。
LN unit consists由三個(gè)Mini軸組成,使用適配器固定,形成一個(gè)完整的裝置。該裝置的設(shè)計(jì)結(jié)合了靈活性、穩(wěn)定性、高分辨率和無(wú)漂移的體驗(yàn)。
X軸的貼片角度可以連續(xù)調(diào)整。所有的機(jī)械部件都配備了接地點(diǎn)。該裝置可使用轉(zhuǎn)彎適配器、背折適配器或快速交換系統(tǒng)。
這種精確而可靠的機(jī)械手發(fā)明于1993年,由于我們的服務(wù)政策,第一代系統(tǒng)仍然在世界各地的實(shí)驗(yàn)室中使用。在光學(xué)系統(tǒng)周?chē)疃嗫梢园惭b8個(gè)機(jī)械手。
規(guī)格:
XYZ方向行程:25nm
電機(jī)分辨率:4.8nm
重現(xiàn)性:小于1微米
重量(整機(jī)):2.2公斤
主軸導(dǎo)程:0.5 mm
最小可重現(xiàn)步長(zhǎng):20nm
新的Mini有修改過(guò)的Mini Compact Y軸和Z軸,移動(dòng)范圍為25毫米。這不僅增加了堅(jiān)固性,而且由于增加了兩個(gè)T型槽而增加了靈活性。
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